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我國電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標(biāo)準(zhǔn)

作者:北京中天恒遠(yuǎn) 發(fā)布于:2014-10-10 08:45:09瀏覽量: 次

水處理設(shè)備

我國電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標(biāo)準(zhǔn)

化學(xué)指標(biāo)單位：μg/L

序號

水質(zhì)項目

一級高純水指標(biāo)

二級高純水指標(biāo)

1

電阻率（25℃）MΩ·cm

≥15

≥10

2

電導(dǎo)率，μs/cm

0.05

0.1

3

PH值

6.8～7.2

6.6～7.4

4

細(xì)菌總數(shù)，個/mL

＜3

＜9

5

微粒（直徑＞0.5μm，粒/mL）

＜150

＜300

6

二氧化硅

＜10

＜20

7

有機(jī)物（以COD計）

＜0.3

＜0.5

8

鈉 Na

＜0.5

＜2

9

鐵 Fe

＜1

＜2

10

銅 Cu

＜0.5

＜1

11

鈣 Ca

＜1

＜3

12

鎂 Mg

＜0.2

＜1

13

鋅 Zn

＜0.5

＜1

14

錳 Mn

＜0.2

＜0.5
說明：①一級高純水適用于大規(guī)模集成電路，微波器件以及有相同要求到半導(dǎo)體器件產(chǎn)品。
　　�、诙壐呒兯m用于一般電路，分立器件以及有相同要求的半導(dǎo)體器件產(chǎn)品。
　　�、郾颈戆�1980年電子工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)摘錄。

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